|
|
Descripción
Microscopio electrónico SEM FE de Alta Resolución que opera a presión variable y la posibilidad de bajo vacío.
Puntos fuertes:
* Emisor Schottky de Alto Brillo para alta resolución / alta corriente / bajo ruido.
* Posibilidad de examinar muestras no conductoras, que contengan agua en sus estados naturales en condiciones de bajo vacío dentro de la cámara de muestra.
* Obtención de vacío limpio en forma rápida y sencilla por medio de bombas rotatorias y turbo, con fácil cambio de modo de operación de alto vacío a bajo vacío.
* Diseño único de tres lentes Wide Field Optics™ que ofrece una variedad de modos de trabajo y visualización que integran las lentes propietarias intermedias para la optimización de la apertura del haz.
* Real time In-Flight Beam Tracing™ for the performance and spot optimisation integrating the well established software Electron Optical Design.
* Alta velocidad de visualización.
* Automatización de Alto Rendimiento y Área Grande, por ejemplo, localización de partículas y análisis automatizados.
* SExtraordinario potencial de análisis - Cámara de 11 puertos con geometría optimizada, lo que permite realizar en forma simultánea EDS, WDS y EBSD.
* Ajuste totalmente automatizado del microscopio incluyendo óptica y alineación.
* Software softisticado para el control del microscopio, adquisición de datos, archivado, procesamiento y análisis.
* Operaciones en red y acceso/diagnóstico remoto integrado, todo esto viene como estándar de Tescan.
Especificaciones
a) Especificaciones esenciales
| Resolución |
| En modo de Alto Vacío (SE) |
< 2.0 nm a 30 KV |
| En modo de Bajo Vacío |
< 2.5 nm a 30 KV |
| Vacío de Trabajo |
Cámara - Modo de Alto Vacío |
< 1 x 10-2 Pa |
Cámara - Modo de Bajo Vacío |
5-500 Pa |
| Vacío del cañon |
< 1 x 10-6 Pa |
| Modos de Operación |
| Alto Vacío |
Resolución
Profundidad de campo
Campo amplio
Ojo de pes
Rocking beam
|
| Bajo Vacío |
|
| Magnificación a 30kV/30mm |
|
A 30 KV |
13 - 1 000 000 X |
Mínima en el modo Ojo-de-Pes |
Cerca de 4X |
| Voltaje de aceleración |
| 500 V a 30 KV |
| Cañón de Electrones |
| Emisor Schottky de Alto Brillo |
| Corriente de haz |
| 2 pA a 20 nA |
| Barridos |
Velocidad de barridos
|
De 200 ns a 10 ms por pixel ajustable en pasos o continuo. |
Ventana de Foco:
|
Forma, tamaño y posición continuamente ajustable |
| Tamaño de imagen |
| Hasta 4 096 x 4 096 pixels, ajustable separadamente para imágenes en vivo (en 4 pasos) y para imágenes almacenadas (9 pasos), cuadrados o rectángulos con relación 3:4 o 1:2 a elegir. |
| Control del Microscopio |
| Todos las funciones del microscopio se controlan por medio de la PC por medio del programa MiraTC usando la plataforma de Windows™ |
| Acceso Remoto |
| Via TCP/IP |
| Procedimientos automáticos |
- Corriente de la Sonda y tamaño del punto ajustable en forma contínuam por In-Flight Beam Tracing™
- Control de vacío
- Alineación del cañón.
- Compensación para kV
- Corriente del haz optimizado para un tamaño del haz.
- Tamaño del Spot optimizado para los aumentos.
- Velocidad de barrido.
- Contraste y Brillo.
- Foco y Astigmatismo.
- Look up Table.
|
b) Cámara de la muestra
| Cámara LM |
| Tamaño interno |
ø230 mm |
| Ancho de la puerta |
148 mm |
| Número de puertos |
11 |
| Suspensión de la cámara |
Neumática |
| Platina porta muestra |
| Tipo |
Semi-compucéntrico |
| Movimientos |
X= 80 mm - motorizada
Y= 60 mm - motorizada
Z= 47 mm - manual
Rot.: 360° continuo - motorizado
Inclinación: -75° a +50° con una distancia de trabajo de 15 mm y para altura eucéntrica del especimen.
Máxima altura del especimen: 60 mm. |
| Requisitos |
| Instalación |
Enería eléctrica 230 V/50 Hz o 120 V/60 Hz, 1300 VA,
Sin agua de enfriamiento
Se recomienda nitrógeno comprimido:1.5 – 5Atm,
Aire comprimido para suspensión: 4.5 – 6 Bars |
| Ambiental |
Temperatura ambiental: 17 – 24 °C
Humedad relativa: max. 80 %
Vibración: max. 1 μm
Campo magnético de fondo: síncrono max. 3 × 10-7 T
Campo magnético de fondo: asíncrono max. 1 × 10-7 T
Dimensiones del sistema: 2.15m × 0.94m
Cuarto para instalación: min. 3m × 2.5m
|
Configuración estándar del microscopio MIRA LMH:
* Detector SE tipo ET.
* Detector retraible BSE.
* Medición de corriente del cañón de electrones.
* Alama de toque.
* Cámara de video en la cámara de la muestra.
Software estándar:
* Medición.
* Operaciones de imágen.
* Procesamiento de imágen.
* Barrido 3D.
* Dureza.
* Calibrador multi imágen.
* Área de objetos.
* Print magnification.
* Switch-Off Timer.
* Tolerancia.
Opciones:
* Detector TE.
* EBIC.
* EDX.
* WDX.
* EBSD.
* Enfriamiento de la platina
y para software:
* Morfología.
* Análisis de partículas.
* Image Snnaper.
* Image Observer.
* Mouse Link.
|
