| Resolución |
| En modo de alto vacío (SE) |
< 2.0 nm a 30 KV |
| Vacío de Trabajo |
|
Cámara - Modo de Alto Vacío |
< 1 x 10-2 Pa |
| Vacío del cañon |
< 1 x 10-6 Pa |
| Modos de Operación |
| Alto Vacío |
-
Resolución
-
Profundidad de campo
-
Campo amplio
-
Ojo de pes
-
Rocking beam |
| Magnificación a 30kV/30mm |
|
A 30 KV |
13 - 1 000 000 X |
|
Mínima en el modo Ojo-de-Pes |
Cerca de 4X |
| Voltaje de aceleración |
| 500 V a 30 KV |
| Cañón de Electrones |
| Emisor Schottky de Alto Brillo |
| Corriente de haz |
| 2 pA a 20 nA |
| Barridos |
Velocidad de barridos
|
De 200 ns a 10 ms por pixel ajustable en pasos o continuo. |
Ventana de Foco:
|
Forma, tamaño y posición continuamente ajustable |
| Tamaño de imagen |
| Hasta 4 096 x 4 096 pixels, ajustable separadamente para imágenes en vivo (en 4 pasos) y para imágenes almacenadas (9 pasos), cuadrados o rectángulos con relación 3:4 o 1:2 a elegir. |
| Control del Microscopio |
| Todos las funciones del microscopio se controlan por medio de la PC por medio del programa MiraTC usando la plataforma de Windows™ |
| Acceso Remoto |
| Via TCP/IP |
| Procedimientos automáticos |
- Corriente de la Sonda y tamaño del punto ajustable en forma contínuam por In-Flight Beam Tracing™
- Control de vacío
- Alineación del cañón.
- Compensación para kV
- Corriente del haz optimizado para un tamaño del haz.
- Tamaño del Spot optimizado para los aumentos.
- Velocidad de barrido.
- Contraste y Brillo.
- Foco y Astigmatismo.
- Look up Table.
|
